由于目前的國際環境,國際大(dà)力倡導芯片的自主化,預計(jì)在未來(lái)幾年,将需要數(shù)億元的高(gāo)效過濾器和(hé)精密過濾器。而半導體(tǐ)廠對于生(shēng)産環境空氣的潔淨度是十分挑剔的,因此對于空氣過濾器的要求也是十分苛刻。
1、芯片廠10級、1級潔淨車(chē)間(jiān)
主過濾器效率:ULPA超高(gāo)效過濾器
常見過濾元件:無隔闆ULPA超高(gāo)效過濾器
特殊要求:掃描檢驗,流速均勻,無揮發物
作用:當今對性能要求最高(gāo)的空氣過濾器
2、芯片廠10級、1級潔淨廠房(fáng)預過濾器
主過濾器效率:HEPA高(gāo)效過濾器
常見過濾元件:無隔闆高(gāo)效過濾器、有(yǒu)隔闆高(gāo)效過濾器
特殊要求:迎面風速高(gāo)
作用:保證末端過濾工器的使用壽命
從以上(shàng)可(kě)以看出,芯片廠空氣過濾要求十分的嚴格,潔淨度要求非常高(gāo),因此必須搭配初效、中效和(hé)高(gāo)效空氣過濾器使用,并且在一些(xiē)要求特别的環境中還(hái)需要搭配超高(gāo)效過濾器。因此我們芯片廠在選擇空氣過濾器的時(shí)候,主要是根據自己的需求進行(xíng)設計(jì)通(tōng)風,再選擇不同過濾級别的空氣過濾器進行(xíng)搭配使用,達到生(shēng)産芯片的環境要求。