DOP測量hepa過濾器用氣溶膠有(yǒu)什麽危害

DOP用于HEPA過濾器效率測量，已有(yǒu)近40年曆史，近幾年來(lái)懷疑其所含環苯是緻癌物質，現改用DOS DEHS(常用于單分散的)。這些(xiē)物質對IC及盤片驅動器生(shēng)産早已認為(wèi)對産品有(yǒu)害，因此現常用聚苯乙烯乳膠球(SPLs)，粒徑在0.1~1μm的單分散系，可(kě)方便進行(xíng)控制(zhì)。但(dàn)有(yǒu)研究認為(wèi)用DOP測試過過濾器釋放出的DOP量與大(dà)氣中含有(yǒu)的DOP量相差不明(míng)顯。

DOP等用壓縮空氣把溶液中的液體(tǐ)通(tōng)過Laskin噴管霧化成多(duō)分散系DOP等，粒徑在0.1~lμm，t>0.35μm的占90%以上(shàng)。單分散系DOP，現常用DEHS，加熱至一定溫度其溶液蒸發然後冷卻之，控制(zhì)冷卻溫度以控制(zhì)粒徑。采用多(duō)分散的DOP測得(de)的過濾器效率要比用單分散的為(wèi)高(gāo)，其間(jiān)現尚無轉換關系可(kě)循。