半導體(tǐ)芯片廠對于空氣過濾器的要求非常嚴格

當今，半導體(tǐ)芯片廠對生(shēng)産環境空氣潔淨度最挑剔，對空氣過濾器的要求也最苛刻。粘在芯片上(shàng)的粉塵可(kě)能造成斷路、短(duǎn)路而直接影(yǐng)響成品率。

衡量芯片集成度的指标之一是“線寬”，即集成電(diàn)路上(shàng)導線的寬度。在線寬以微米計(jì)算(suàn)的年代，制(zhì)造環境對粉塵粒徑的限制(zhì)是小(xiǎo)于線寬的1/10，随着線寬不斷變小(xiǎo)，1/10之說又變成了1/4、1/2。2002年，普通(tōng)微機中P4處理(lǐ)器的線寬縮小(xiǎo)到了0.13μm，此時(shí)任何粉塵都可(kě)能損害電(diàn)路，粒徑與線寬的傳統比較過時(shí)了。

芯片廠傳統的通(tōng)風形式是“大(dà)循環”，車(chē)間(jiān)的整個(gè)天花(huā)闆上(shàng)布滿無隔闆高(gāo)效過濾器，整個(gè)地面為(wèi)回風栅闆。現在芯片廠有(yǒu)些(xiē)車(chē)間(jiān)使用自帶風機的高(gāo)效過濾裝置（FFU，FanFilter Units）。大(dà)循環和(hé)FFU兩種形式都能達到足夠的潔淨度，隻是在運行(xíng)管理(lǐ)和(hé)能耗上(shàng)有(yǒu)所差異。

空氣中的海鹽離子是所有(yǒu)電(diàn)子工業的大(dà)敵，但(dàn)海鹽粉塵的顆粒比較大(dà)，普通(tōng)空氣過濾器就能将其清除。有(yǒu)人(rén)說電(diàn)子工業的理(lǐ)想地點應該遠離海岸，可(kě)國內(nèi)芯片廠就建在了經濟發達的沿海地區(qū)，在過濾器上(shàng)多(duō)花(huā)點錢(qián)就是了。

芯片廠特别在意過濾器上(shàng)可(kě)能的微量揮發元素。近幾年出現了聚四氟乙烯PTFE纖維高(gāo)效過濾材料，這種材料沒有(yǒu)揮發物，但(dàn)它帶靜電(diàn)，過濾後的空氣要進行(xíng)電(diàn)中和(hé)以消除空氣中的離子，少(shǎo)了個(gè)隐患，多(duō)了個(gè)麻煩。目前PTEE高(gāo)效濾材的價格偏高(gāo)，絕大(dà)部分高(gāo)效過濾器仍使用傳統的玻纖濾紙。高(gāo)效過濾器上(shàng)可(kě)能的揮發物主要來(lái)源于制(zhì)造過程中使用的粘結劑、清洗劑、試驗粉塵、輔助材料、為(wèi)芯片廠供貨的過濾器廠商要在避免微量揮發物上(shàng)下些(xiē)功夫。

但(dàn)當芯片的線寬小(xiǎo)到0.5μm時(shí)，人(rén)們發現空氣中的化學污染物成了影(yǐng)響成品率的主要危害，于是，後建的芯片廠空調系統中普遍配置了化學過濾器。芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器，它的原理(lǐ)和(hé)制(zhì)造工藝并不複雜。

芯片廠特别在意過濾器上(shàng)可(kě)能的微量揮發元素近幾年出現了聚四氟乙烯PTFE纖維高(gāo)效過濾材料，這種材料沒有(yǒu)揮發物，但(dàn)它帶靜電(diàn)，過濾後的空氣要進行(xíng)電(diàn)中和(hé)以消除離子，少(shǎo)了個(gè)隐患，多(duō)了個(gè)麻煩。

但(dàn)當芯片的線寬小(xiǎo)到0.5um時(shí)，人(rén)們發現空氣中的化學污染物成了影(yǐng)響成品率的主要危害，于是，後建的芯廠空調系統中普遍配置了化學過濾器。

芯片廠說的化學過濾器就是活性炭過濾器，它的原理(lǐ)和(hé)制(zhì)造工藝并不複雜。

許多(duō)情況下，設計(jì)師(shī)和(hé)現場(chǎng)人(rén)員也說不清污染物的種類和(hé)濃度，因此，芯片廠用的化學過濾器應具有(yǒu)兩個(gè)特點：廣譜吸附性能、足夠多(duō)的吸附材料。